FEI Quanta 600 FEG является растровым электронным микроскопом (РЭМ; другое название сканирующий электронный микроскоп, СЭМ) с катодом с полевой эмиссией и интегрированной комплексной системой микроанализа EDAX TRIDENT XM 4, состоящей из энергодисперсионного спектрометра рентгеновского излучения (EDS), спектрометра с волновой дисперсией рентгеновского излучения (WDS) и системы анализа структуры и текстуры кристаллических материалов методом дифракции отраженных электронов (EBSD). Микроскоп позволяет получать изображения различных объектов с увеличением, превышающим 100 000 крат, с большим числом элементов изображения (пикселов).
Он предназначен для выполнения различных исследований с минимальными затратами времени на препарирование объектов, поскольку Quanta 600 FEG позволяет работать с разнообразными типами образцов, в том числе непроводящими, загрязненными, влажными или способными к газовыделению при вакуумировании. При этом обеспечивается исключительная глубина резкости изображения.
Система микроанализа EDAX Trident XM 4 позволяет получать элементный состав образцов с латеральным разрешением ~ 1 мкм с глубины до 5 мкм. Также в ней реализованы функции сканирования по линии и выбранной площади. Кристаллографический анализ, получение изображения магнитного контраста, вторично-отраженных электронов.
Основные характеристики
-
источник электронов: катод с полевой эмиссией, тетродная пушка с высокой яркостью и стабильностью;
-
ускоряющее напряжение плавная регулировка от 0,2 до 30 кВ;
-
ток пучка от 0.1 пА до значений более 2 мкА;
-
разрешение 1.2 нм при ускоряющее напряжении 30 кВ в режиме высокого вакуума, 1,5 нм при ускоряющем напряжении 30 кВ в режимах низкого и сверхнизкого вакуума, 3 нм при ускоряющем напряжении 3 кВ;
-
диапазон фокусных расстояний от 3 мм до 99 мм;
-
диапазон увеличений от 6x до 1,000,000x при размере изображения 19”;
-
поле зрения 18 мм на наибольшем рабочем расстоянии;
-
Высокий вакуум (около 105 мбар). Режим предназначен для получения изображений и проведения микроанализа проводящих образцов и/или образцов, подготовленных классическими методами.
-
Низкий вакуум (<1.3 мбар). Режим предназначен для получения изображений и проведения микроанализа непроводящих образцов без пробоподготовки;
-
Режим естественной среды (режим ESEM, (до 2600 Па). Режим предназначен для получения изображений и проведения микроанализа образцов, не устойчивых в условиях высокого вакуума, таких как водных растворов, органических, водо- и нефтесодержащих образцов с высоким газовыделением и т.д. Пробоподготовки не требует.
Примеры работы
Изображение углеродных нанотрубок при увеличении 16 000×, полученное с помощью FEI Quanta 600 FEG.
Спектр, соответствующий элементному составу высокотемпературного сверхпроводника (ВТСП) YBa2Cu3O7-x, полученный с помощью микроанализатора EDAX FEI Quanta 600 FEG. Кроме основных элементов в образце были обнаружены примеси Cl, S, Zr.
