Установка позволяет получать углеродные нанотрубки на подложках шириной до 4,5 см методом CVD из углеродосодержащих газов с использованием катализатора. Камера загрузки образца отделена от кварцевого реактора вакуумным затвором, что позволяет осуществлять загрузку и выгрузку образцов без охлаждения реактора, что увеличивает производительность установки.
Основные характеристики
-
температура нагрева реактора до 800 °С;
-
газ-носитель аргон;
-
размеры подложки (4,5 х 10) см.
