АО ГНЦ «Центр Келдыша»
En

УПСА-100

Установка предназначена для выращивания нано-, моно- и поликристаллического алмаза и алмазных плёнок на кремниевых подложках диаметром до 75 мм в СВЧ разряде.

Основные характеристики

  • диаметр получаемых алмазных пленок и пластин до 75 мм;
  • температура подложки в процессе осаждения от 500 ºС до 1200 ºС;
  • рабочее давление в рабочей камере (30 – 250) мм.рт.ст.;
  • минимальное давление в рабочей камере не более 10 -2 мм.рт.ст.;
  • мощность СВЧ излучения (600 — 5000) Вт;
  • частота СВЧ излучения 2,45 ГГц;
  • одновременная подача до 4-х газов;
  • расход газовой смеси от 0,36 до 60 л/ч;
  • время установления рабочего режима с момента включения установки не более 120 минут.
  • Cara Mengekstrak Domain dari URL di Notepad++
  • WordPress CMS Checker
  • slot gacor